3D混合型光学式外观检查装置
设备型号：YRi-V
设备品牌：
核心规格
贴装能力
检查速度 56.8cm²/s
相机像素
1,200万像素
对象基板尺寸
L610×W610mm - L50×W50mm
产品详细资讯
高分辨率相机
配备1200万像素相机和2000万像素4方向斜视相机，确保精准检测
3D混合检测
结合3D测量技术，提供全面的外观和尺寸检测能力
高速检测
最高检测速度达56.8cm²/s，大幅提升生产效率
多分辨率支持
支持12μm、7μm、5μm三种分辨率规格，满足不同精度需求
| 设备型号 | YRi-V 3D混合型光学式外观检查装置 |
|---|---|
| 对象基板尺寸 | L610 x W610mm (上限) - L50 x W50mm (下限) (单轨机型时) 支持L750mm长基板（选配） |
| 基板可搬入的元件高度 | 上面：45mm 底面：85mm（单轨机型时） |
| 上限3D测量高度 | 25mm |
| 相机像素 | 1,200万像素 |
| 4方向斜视相机像素 | 2,000万像素 |
| 3D检查速度（理想条件下） | 12μm分辨率：56.8cm²/s 7μm分辨率：19.6cm²/s 5μm分辨率：10.1cm²/s |
| 外形尺寸 | L1,252 x W1,497 x H1,614mm |
| 重量 | 约1,480Kg |