3D混合型光學式外觀檢查裝置
設備型號：YRi-V
設備品牌：
核心規格
貼裝能力
檢查速度 56.8cm²/s
相機像素
1,200萬像素
對象基板尺寸
L610×W610mm - L50×W50mm
產品詳細資訊
高分辨率相機
配備1200萬像素相機和2000萬像素4方向斜視相機，確保精準檢測
3D混合檢測
結合3D測量技術，提供全面的外觀和尺寸檢測能力
高速檢測
最高檢測速度達56.8cm²/s，大幅提升生產效率
多分辨率支持
支持12μm、7μm、5μm三種分辨率規格，滿足不同精度需求
| 設備型號 | YRi-V 3D混合型光學式外觀檢查裝置 |
|---|---|
| 對象基板尺寸 | L610 x W610mm (上限) - L50 x W50mm (下限) (單軌機型時) 支持L750mm長基板（選配） |
| 基板可搬入的元件高度 | 上面：45mm 底面：85mm（單軌機型時） |
| 上限3D測量高度 | 25mm |
| 相機像素 | 1,200萬像素 |
| 4方向斜視相機像素 | 2,000萬像素 |
| 3D檢查速度（理想條件下） | 12μm分辨率：56.8cm²/s 7μm分辨率：19.6cm²/s 5μm分辨率：10.1cm²/s |
| 外形尺寸 | L1,252 x W1,497 x H1,614mm |
| 重量 | 約1,480Kg |